Refurbishment Work Scope

翻新工程范围

STEP ①

Tool 入库检查

依照Tool的Target spec进行系统检查

STEP ②

拆解 

STEP ③

清洗与准备

全面清洗 (主体、电缆、盖板等)

零件翻新 & 修理

STEP ④

组装 

根据Tool的Target spec进行parts增加及更换

STEP ⑤

功能检测

Tool Calibration & Vertification

(设备校准及检验)

N2 Plasma Turn-on Test 

(N2 等离子体开机测试)

STEP ⑥

最终测试

Austo Seasoning Test


mobile background

Refurbishment Work Scope

翻新工程范围

STEP ①

Tool 入库检查

依照Tool的Target spec进行系统检查


STEP ④

组装 

根据Tool的Target spec进行parts增加及更换


STEP ②

拆解 

.


STEP ⑤

功能检测

Tool Calibration & Vertification(设备校准及检验)

Plasma Turn-on Test (等离子体开机测试)

STEP ③

清洗与准备

全面清洗 (主体、电缆、盖板等)

零件翻新 & 修理

STEP ⑥

最终测试

Auto Seasoning Test