Refurbishment Work Scope
翻新工程范围
STEP ①
Tool 入库检查
依照Tool的Target spec进行系统检查
STEP ②
拆解
STEP ③
清洗与准备
全面清洗 (主体、电缆、盖板等)
零件翻新 & 修理
STEP ④
组装
根据Tool的Target spec进行parts增加及更换
STEP ⑤
功能检测
Tool Calibration & Vertification
(设备校准及检验)
N2 Plasma Turn-on Test
(N2 等离子体开机测试)
STEP ⑥
最终测试
Austo Seasoning Test
Refurbishment Work Scope
STEP ①
Tool 入库检查
依照Tool的Target spec进行系统检查
STEP ④
组装
根据Tool的Target spec进行parts增加及更换
STEP ②
拆解
.
STEP ⑤
功能检测
Tool Calibration & Vertification(设备校准及检验)
Plasma Turn-on Test (等离子体开机测试)
STEP ③
清洗与准备
全面清洗 (主体、电缆、盖板等)
零件翻新 & 修理
STEP ⑥
最终测试
Auto Seasoning Test