TEST SYSTEM

功能测试系统

Functional Test System

持有与Fab 环境相同的独有Functional Test System。 


使用 Fab现场相同设备或相同功能设备进行Functional Test System。 


出库前进行72小时及最低1000次以上的 Marathon / Burn-in test。 


对于Vacuum Robot进行Base pressure 确认, Leak rate测量及Outgassing预先排除 。

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功能测试系统

Functional Test System

• 持有与Fab 环境相同的独有Functional Test System。 

• 使用 Fab现场相同设备或相同功能设备进行Functional Test System。

• 出库前进行72小时及最低1000次以上的 Marathon / Burn-in test。

• 对于Vacuum Robot进行Base pressure 确认, Leak rate测量及

  Outgassing预先排除 。