TEST SYSTEM
功能测试系统
Functional Test System
持有与Fab 环境相同的独有Functional Test System。
使用 Fab现场相同设备或相同功能设备进行Functional Test System。
出库前进行72小时及最低1000次以上的 Marathon / Burn-in test。
对于Vacuum Robot进行Base pressure 确认, Leak rate测量及Outgassing预先排除 。
TEST SYSTEM
Functional Test System
• 持有与Fab 环境相同的独有Functional Test System。
• 使用 Fab现场相同设备或相同功能设备进行Functional Test System。
• 出库前进行72小时及最低1000次以上的 Marathon / Burn-in test。
• 对于Vacuum Robot进行Base pressure 确认, Leak rate测量及
Outgassing预先排除 。