Robotics Repair Service
• 保障客户安全库存的基本维修
• 针对故障原因进行维修并更换所有耗材
• 4 weeks lead-time
• Robot, Controller, Aligner & Loadport
Service Available
保障客户安全库存的基本维修 / 针对故障原因进行维修并更换所有耗材 / 4 weeks lead-time / Robot, Controller, Aligner & Loadport
修复程序
功能测试系统
交换项目
Robot维修环境
新产品开发
Tool Refurbishment
ETCH Tool Refurbishment
ETCH Tool翻新
旧设备按Target Spec进行翻修
最适宜Refurbishment的优良洁净室
专为System Test而打造的Facility & Utility System
使用N2, He gas 进行 Wafer seasoning 及Plasma test
拥有设备厂商出身、经验丰富的工程师以及多种项目的经历
系统制造和装配服务
蚀刻系统翻新
蚀刻系统改造(版本升级、尺寸转换)
蚀刻系统现场安装
Tool维修流程
Tool修理环境
• ETCH Tool翻新
• 旧设备按Target Spec进行翻修
• 最适宜Refurbishment的优良洁净室
• 专为System Test而打造的Facility & Utility System
• 使用N2, He gas 进行 Wafer seasoning 及Plasma test
• 拥有设备厂商出身、经验丰富的工程师以及多种项目的经历
• 系统制造和装配服务
• 蚀刻系统翻新
• 蚀刻系统改造(版本升级、尺寸转换)
• 蚀刻系统现场安装
Part Development
• 参与KLA的液晶检测设备新型tile chuck的设计
• 每年供应约1000件
• 高效的流程改进,为客户解决高成本、质量控制和交付问题
Tile Chuck
Involving to design new vacuum chuck
参与KLA的液晶检测设备新型tile chuck的设计
每年供应约1000件
高效的流程改进,为客户解决高成本、质量控制和交付问题