Robotics Repair Service

• 保障客户安全库存的基本维修 

• 针对故障原因进行维修并更换所有耗材

• 4 weeks lead-time

• Robot, Controller, Aligner & Loadport


Robotics Repair Service

Service Available

保障客户安全库存的基本维修 / 针对故障原因进行维修并更换所有耗材 / 4 weeks lead-time / Robot, Controller, Aligner & Loadport


Tool Refurbishment

ETCH Tool Refurbishment


ETCH Tool翻新

旧设备按Target Spec进行翻修

最适宜Refurbishment的优良洁净室

专为System Test而打造的Facility & Utility System

使用N2, He gas 进行 Wafer seasoning 及Plasma test

拥有设备厂商出身、经验丰富的工程师以及多种项目的经历


系统制造和装配服务 

蚀刻系统翻新 

蚀刻系统改造(版本升级、尺寸转换) 

蚀刻系统现场安装

修复程序

功能测试系统

交换项目

Robot维修环境

新产品开发


Tool Refurbishment

• ETCH Tool翻新

• 旧设备按Target Spec进行翻修

• 最适宜Refurbishment的优良洁净室

• 专为System Test而打造的Facility & Utility System

• 使用N2, He gas 进行 Wafer seasoning 及Plasma test

• 拥有设备厂商出身、经验丰富的工程师以及多种项目的经历


• 系统制造和装配服务 

• 蚀刻系统翻新 

• 蚀刻系统改造(版本升级、尺寸转换) 

• 蚀刻系统现场安装


Part Development

• 参与KLA的液晶检测设备新型tile chuck的设计

• 每年供应约1000件 

• 高效的流程改进,为客户解决高成本、质量控制和交付问题

mobile background

Part Development

Involving to design new vacuum chuck

参与KLA的液晶检测设备新型tile chuck的设计

每年供应约1000件 

高效的流程改进,为客户解决高成本、质量控制和交付问题